清洗後的硅片怎麼保存 清洗後的硅片如何保存

1、單晶片和外延片的保存；可將拋光後的單晶片或外延片裝入一樣大小的小塑料袋內，每袋裝一片，或背靠背可裝二片，然後，將小塑料袋疊好，裝入尺寸定做的硬紙盒內，盒內上部多餘空間再放點小包硅膠防潮，蓋上盒蓋後，在盒蓋表面再寫上批次、型號、入庫時間、數量等。

2、當要使用單晶片和外延片時，只要從倉庫按需取出，然後將硅片從塑料袋內小心取出，放入化學瓷坩堝內進行化學清洗，清洗完了最後用去離子水衝淨烘乾即可使用。

3、如果是化開的小芯片保存，則只要用小燒杯或玻璃培養皿進行超聲清洗後再烘乾，烘乾後如短期存放就直接放在乾淨的玻璃培養皿內蓋上，然後再放入有磨口的玻璃乾燥器內。

4、烘乾後如長期存放，就在乾淨玻璃培養皿內放一層定性濾紙，然後在定性濾紙上再放一層小芯片，面上再蓋一層乾淨定性濾紙，接着又放一層小芯片，反正，這樣交替疊放，裝滿為止，最後用配套的玻璃培養皿蓋上再放入有磨口的玻璃乾燥器內或真空乾燥箱內保存。

5、當要使用小芯片時，只需取出用丙酮——乙醇超聲機上清洗，最後用去離子水衝淨烘乾即可使用。