硅片清洗如何 硅片的清洗方法
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1、首先去除硅片表面的有機沾污,因為有機物會遮蓋部分硅片表面,從而使氧化膜和與之相關的沾污難以去除;
2、然後溶解氧化膜,因為氧化層是“沾污陷阱”,也會引入外延缺陷;最後再去除顆粒、金屬等沾污,同時使硅片表面鈍化。
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1、首先去除硅片表面的有機沾污,因為有機物會遮蓋部分硅片表面,從而使氧化膜和與之相關的沾污難以去除;
2、然後溶解氧化膜,因為氧化層是“沾污陷阱”,也會引入外延缺陷;最後再去除顆粒、金屬等沾污,同時使硅片表面鈍化。