光刻機是幹嘛的 光刻機的簡介
- 經驗
- 關注:9.89K次
1、光刻機又名掩模對準曝光機、曝光系統、光刻系統等,是製造芯片的核心裝備。它採用類似照片沖印的技術,把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印製到硅片上。光刻機的種類可分為:接觸式曝光、接近式曝光、投影式曝光。
2、光刻機的工作原理是通過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫着線路圖的掩模,經物鏡補償各種光學誤差,將線路圖成比例縮小後映射到硅片上。然後使用化學方法顯影,得到刻在硅片上的電路圖。
標籤:
光刻機
- 文章版權屬於文章作者所有,轉載請註明 https://xiumeifan.com/shenghuo/jingyan/2pddp.html